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蝕刻洗鋁防偽
蝕刻洗鋁防偽

蝕刻洗鋁防偽

 

蝕刻洗鋁防偽

防偽標簽廠蝕刻洗鋁防偽技術可減少蝕刻腔體內含鋁顆粒物的含量,使得干蝕刻制程中顆粒物掉落于待蝕刻膜層上的概率減少,解決了線路蝕刻殘留和短路的問題,提高產品良率。

蝕刻洗鋁防偽步驟1:防偽標簽廠提供一鋁膜基板,所述鋁膜基板包括襯底基板及設于所述襯底基板上的鋁膜,在所述鋁膜上涂布光阻層,采用光罩對光阻層進行曝光顯影后形成光阻層圖形;

蝕刻洗鋁防偽步驟2:防偽標簽廠提供一干蝕刻設備,所述干蝕刻設備具有蝕刻腔體,將帶有光阻層圖形的鋁膜基板放入所述蝕刻腔體中,向所述蝕刻腔體內通入含氯氣體,對鋁膜基板進行蝕刻,所述含氯氣體對鋁膜上未被光阻層圖形覆蓋的部分進行蝕刻,得到設計圖案,在蝕刻過程中,控制所述蝕刻腔體內的溫度與壓力,使含氯氣體與鋁膜反應生成的氯化鋁保持氣體狀態,減少氯化鋁顆粒的生成;

蝕刻洗鋁防偽步驟3:采用抽氣設備抽出所述蝕刻腔體內的大部分氣體,通入含氟氣體,通電解離后,含氟氣體的等離子體與蝕刻腔體內殘留的氯化鋁發生反應,含氟氣體中的氟元素與氯化鋁中的氯元素進行置換,生成氟化鋁。


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